ОПТИЧЕСКАЯ СИСТЕМА
Оптическая схема:
Порты:
Относительное отверстие:
Фокусное расстояние:
Основные зеркала:
Фокальная плоскость: |
Черни-Тернер
1 входной, 2 выходных
1/10,0
750 мм
сферические
28 x 10 мм
|
МЕХАНИЗМ РАЗВЕРТКИ ПО СПЕКТРУ
Двигатель:
Механизм:
Единичный шаг:
Точность установки:
Макс. скорость: |
шаговый, с дроблением шага
синусный
0,026 угловых сек
± 1 шаг
10000 шагов/с
|
ЭШЕЛЛЕ РЕШЕТКА
Размер решетки:
Число штрихов:
Угол блеска: |
120x60x10 мм
75 штр/мм
64,5° ± 0,2°
|
ОПТИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Рабочий спектральный диапазон:
Рабочие порядки:
Обратная линейная дисперсия для
200 нм, порядок 120:
500 нм, порядок 48:
800 нм, порядок 30:
Средний шаг сканирования, нм:
Точность установки длины волны, нм:
Воспроизводимость, нм: |
200 - 1000 нм
120 - 24
0,056 нм/мм
0,14 нм/мм
0,22 нм/мм
0,024нм / порядок
20 x (средний шаг сканирования)
5 х (средний шаг сканирования) |
СПЕКТРАЛЬНЫЕ ЩЕЛИ
Комбинированные - с ручным управлением
и с помощью шагового двигателя:
Единичный шаг:
Параллельность ножей:
Точность (при ширине щели 1 мм):
Цена деления микрометрического винта: |
Ширина 0-2,0 мм (плавная регулировка)
Высота 0-10 мм (регулируется диафрагмой)
0,5 мкм
± 1 мкм
± 10 мкм
2 мкм
|
Габаритные размеры (ДхШхВ): 910 x 343 x 328 мм, Вес: 38 кг |
УПРАВЛЕНИЕ
Общее управление от встроенного контроллера
Внешнее управление от персонального компьютера |